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三菱电机机器人搬送晶圆盒、晶圆

ainet.cn   2014年01月25日

视频企业：三菱电机自动化

视频描述：视频介绍了用洁净型多关节6轴机器人「RV-3SC、RV-6SC」搬送12英寸晶圆，「RV-12SC」搬送晶圆盒。使用枚叶式抓手可以同时抓5片晶圆，用抓取盒子的抓手抓取晶圆盒。

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